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时间:2016-10-16 00:00:00 来源:本站 作者:admin
定义
晶圆划片是半导体芯片制造过程中的一个必不可少的过程,是晶圆制造的后续过程。将整个芯片晶圆的芯片尺寸分成单芯片(die),称为晶圆切割。
现在我们所用的技术只能用于半导体工业中被称为GPP(玻璃钝化工艺)的工艺生产的台面芯片,三端双向可控硅开关(triac),倒装晶片(flip-chip wafer)传统的划片工艺有更大的优势,目前国内有很多生产GPP晶圆和成品的工厂。出于对产品质量要求较高的高要求,许多工厂不断致力于寻求新的工艺,提高产品开发,科研,质量管理等方面的工作效率,为客户提供更高质量的产品。
在晶圆划片行业中,主要有两种切割工艺,一种是传统的刀片切割,另一种是现代工艺激光划片的新型。以下将通过比较两个切割过程来说明激光划片的优点。
刀片切割
最早的晶圆是使用切割系统进行划片(切割),而切割系统目前在全球芯片切割市场中占有更大的份额,特别是在非集成电路晶圆划片领域。金刚石锯片(砂轮)切割方法是常用的晶圆切割方法。原理:当工件为坚硬脆性材料时,金刚石颗粒将成为冲击(压裂),工件破碎的方式,然后用刀子去除粉末。
问题
●刀片直接在晶圆表面划线,造成晶体内部损伤,容易出现晶圆碎裂和晶圆损坏;
●刀片有一定的厚度,导致划线宽度较大;
●消耗品,刀片每半个月需更换一次;
●环境污染,削减硅粉水难以处理。
激光切割
由于激光聚焦的优点,焦点可以像亚微米一样小,这使得晶圆的微加工比小部件更有优势。即使在低脉冲能量水平下,也可以实现更高的能量密度,并且材料处理更有效率。激光划线是一种非接触式加工,可以避免断屑等破坏。
加工优势
●用于激光划片的高质量光纤激光器对芯片电性能的影响很小,可以提高划片率;
●激光划片速度可达150mm / s;
●激光可以在不同厚度的晶圆上工作,具有更好的兼容性和多功能性;
●激光切割可以切割一些比较复杂的晶圆芯片,如六角模;
●激光划片不需要去离子水,不存在工具磨损问题,24小时连续工作。
客户的利益
肯博科技致力于为客户提供全方位的解决方案。 Kennex在分析客户的技术问题后,建议客户使用激光切割,激光切割是通过激光束聚焦通过镜头,在焦点处变成一个微小的斑点,最小可以达到几十微米,几微米聚焦调制对于工件平面,当对物体施加足够的功率时,光能迅速转化为热能,这会导致10000℃以上的部分高温瞬间熔化甚至汽化工件,从而将工件切割成我们需要或者切入的深度。